シリコン単電子素子を用いた高感度Nano Electro Mechanical Systems (NEMS) センサーの開発

現在，電気的な作用により機械的に可動な部分を持つNEMSデバイスの研究が進められており，さまざまな材料，原理，構造が考えられています。なかでもNEMSセンサーは微小な粒子の吸着による質量変化を検知することができるため，医療や化学，環境などの分野においての利用が期待されています。
本研究においては，シリコン単電子素子のI-V特性にみられるクーロン振動を利用し，微小粒子の吸着などによるカンチレバーのたわみまたは周波数の変化を読み取ることでセンサーとして利用することを考えています。より高感度に質量変化などを検知できるNEMSセンサーの開発を目的として研究を行っています。